Fastmicro 環境落塵顆粒實時監控儀

Fastmicro 環境落塵顆粒實時監控儀，專為潔淨室顆粒沉積速率測量而研發，支持秒級間隔的數據采集，精準測量 0.5 um 以上顆粒。結合直觀易用的軟件係統，幫助客戶實現從單純空氣監測向表麵潔淨度監測的跨越式升級，為工藝流程優化和潔淨度持續改進提供科學依據。

生產過程中的一致性測量

快速: 秒級連續監測

定量: 適用於生產與研發環境的驗證與監測 

易操作: 操作員簡單培訓即可使用

精準: 高分辨率測量（數量、時間線、位置、尺寸）

一致性: 可重複的客觀測量結果

高吞吐量: 現場實時分析

監測顆粒沉積速率（DPRL）

Fastmicro 環境落塵顆粒實時監控儀（PFS）采用緊湊的工 業設計，依據 ISO 14644-9 和 ISO 14644-17 標準，監測顆 粒沉積速率（DPRL）。該設備使工藝/質量工程師能夠實時 監控潔淨室環境中關鍵區域的顆粒沉降情況。

在關鍵區域實現持續監測

區別於傳統的僅監測空氣懸浮顆粒，該係統可以對關鍵表 麵的顆粒汙染控製和潔淨度驗證進行持續監測。 亞微米級顆粒並非始終懸浮於空氣中，它們可能沉積於關 鍵表麵，影響技術潔淨度與產品質量。

該儀器采用 2 英寸晶圓采集環境中的落塵顆粒，並可每 隔 10 秒左右對晶圓表麵的顆粒進行連續粒子沉降監測。 其檢測粒徑尺寸為 ≥0.5（通過 NIST 認證），並準確量化 沉降速率。 軟件界麵簡單直觀，可以一鍵生成報告。

Fastmicro PFS  是 一 款 高 精 度 原 位 檢 測 顆 粒 的 儀 器，幫 助 工 程 師 應 對潔淨工藝控製挑戰。

結合 Phenom XL 掃描電鏡，可以 便捷高效的進一步對顆粒物進行成分表征和溯源分析。